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信号傳輸闆(ASML.光刻機信号傳輸用.24V.光刻
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8486909900
水管組面闆(ASML.5500光刻機專用.用于遮擋機
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8486909900
連接部件(ASML.5500機型光刻機專用.安裝在矽
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3926901000
密封圈(ASML.塑料制.光刻機密封用.一套10個)
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3926901000
密封圈(ASML.光刻機密封用.塑料制.一套30個)
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7326901900
旋鈕(NIKON.鋼鐵制.專用于光刻機機台控制面
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3926901000
密封圈(ASML.塑料制.光刻機密封用.一套20個)
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3926901000
密封圈(ASML.塑料制.光刻機密封用.一套30個)
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8486909900
信号傳輸闆(品牌ASML.專用于5500光刻機.傳輸
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8544421100
電纜(品牌ABB.光刻機傳輸信号用.額定電壓24
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8486909900
光罩承載裝置(ASML.光刻機專用.承載光罩用)
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3818001900
12英寸矽片(光刻機上用.薄片.矽.磷.30.48厘米
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3917330000
氣管(ASML.塑料制軟管.為光刻機輸送氦氣用.7
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4010390000
傳動帶(ASML.光刻機傳動用.條狀.硫化橡膠制.
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8431390000
連接件(ASML.用于光刻機系統部件吊裝提升裝
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8481202000
氣壓傳動閥(ASML.用于光刻機的氣壓傳動系統
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8486909900
矽片承載台(ASML.專用于5500光刻機.鋼鐵制.用
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8504401400
直流穩壓電源(ASML.為光刻機提供基礎穩壓電
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8486909900
氣體控制單元(品牌KV LIMITED.光刻機專用零件
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9031492000
線性位移傳感器(MAGNESCALE.檢測光刻機内部部
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8421399090
氣體過濾器(NEUTRAL牌.用于光刻機氣體循環系
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8486909900
遮光片組件(NIKON.光刻機專用.鋼鐵制.已制成
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8486909900
滑塊(NIKON.光刻機專用.鋼鐵制.用于連接内部
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8486909900
定位組件(NIKON.光刻機專用.鋼鐵制.用于内部
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8486909900
定位塊(NIKON.光刻機專用.鋼鐵制.用于内部運
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9031900090
信号處理模塊(品牌ASML.專用于NXT機型光刻機
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8504401400
直流穩壓電源(ASML.為光刻機運動平台提供直
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8486909900
定位杆(NIKON.光刻機專用.鋼鐵制.已制成特定
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8536500000
開關(ASML.光刻機專用.達到控制電路開閉目.2
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7326901900
密封塞(ASML.工業用.不鏽鋼制.光刻機密封用.
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8486909900
光刻機腔體組件(NIKON.光刻機專用.鋼鐵制.用
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8486909900
減震支架(NIKON.光刻機專用.鋼鐵制.用于固定
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8486909900
塑料制連接件(NIKON.光刻機專用.塑料制.用于
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8543709990
功率放大器(品牌ASML.用于光刻機,将電信号的
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8538900000
數控裝置用信号分配闆(NIKON,專用于光刻機
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8501320000
馬達(ASML.直流.用于驅動光刻機快門的開閉.1K
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8504401400
直流穩壓電源(ASML.光刻機操作平台供電用.200
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8414100090
真空泵(ASML.為光刻機矽片平台抽取濕真空.回
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8421219990
過濾器(ASML.用于光刻機水循環系統.通過中間
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8428909090
提升裝置(ASML.用于支撐住光刻機鏡頭.将其提
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8431390000
支架(ASML.升降搬運時.支撐光刻機鏡頭的冷卻
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8481202000
氣壓傳動閥(ASML.控制閥門開啟和關閉.光刻機
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8481202000
氣壓傳動閥(ASML.用于光刻機氣浮系統中.氣壓
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8481202000
氣壓傳動閥(ASML.用于光刻機的氣壓系統.通過
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8481804090
控制閥(ASML.用于光刻機氣路循環系統.通過給
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8501109990
馬達(ASML.用于驅動光刻機鏡頭孔徑大小.機座
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8504401400
直流電源(ASML.為光刻機提供基礎穩壓電源.直
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8504401400
直流電源(ASML.為光刻機提供基礎電源.直流穩
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8504403090
逆變器(ASML.把直流電變成交流電.以便光刻機
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8536490000
繼電器(ASML.用于光刻機自動控制電路中.自動
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8536901100
接插件(ASML.光刻機電氣連接電路用.電壓小于
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8536901100
接插件(ASML.光刻機電氣連接用接插頭.電壓小
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8538900000
信号轉換闆(ASML.光刻機電氣控制櫃專用零件.
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9002909090
光束角度偏轉器(ASML.光刻機光路系統用.由馬
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9027900000
固定件(ASML.固定反射鏡面用.安裝在光刻機
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9032200000
氣體控制器(ASML.用于光刻機氣路循環系統.用
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9032899090
水循環控制器(ASML.光刻機水循環系統用.根據
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9027300000
激光測量模塊(GIGAPHOTON.用于光刻機.測量内部
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9027809900
激光測量模塊(GIGAPHOTON.用于光刻機.測量内部
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8421999010
濾芯(NIKON.光刻機氣體循環管道過濾裝置上的
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8473309000
主闆(光刻機工業計算機微型機用.NIKON.不帶CP
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8486901000
晶圓傳送組件(NIKON.光刻機傳送晶圓裝置零件
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9031499090
位置傳感器(Nikon.用于感應光刻機内運動部件
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8471504090
自動數據處理闆(PRODIVE牌.用于光刻機控制櫃.
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8471504090
主機箱(SUN品牌.微型機.用于光刻機電腦系統.
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8486909900
底座調整器(ASML.專用于光刻機光路系統中.通
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8538900000
數控裝置用信号分配闆(NIKON.專用于光刻機
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8538900000
數控裝置用信号分配闆(專用于光刻機數控電
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8431390000
連接件(ASML.專用于光刻機鏡頭吊裝提升裝置.
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8504401400
直流電源(ASML.光刻機用.為光刻機提供基礎電
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8486909900
信号傳輸闆(品牌ASML.光刻機專用零件.傳輸信
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.光刻機專用零件.傳輸信号用
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.光刻機專用.傳輸光刻機定位
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.光刻機專用.傳輸光刻機的平
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.光刻機專用.傳輸光罩平台電
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.光刻機專用.傳輸矽片平台運
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8486909900
供水系統(ASML.供應光刻機專用冷卻水.由電纜
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.用于傳輸傳感器信号.光刻機
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.處理傳輸數字信号用.光刻機
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8486909900
管路裝置(ASML.光刻機NXT機型用.由管路和鋼鐵
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.光刻機專用.用于傳輸光刻機
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8486909900
光刻機專用連接組件(ASML.用于水流.氣體的流
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8486909900
晶圓盒承載裝置(ASML.光刻機專用零件.已制成
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.光刻機專用零件.起傳輸信号
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8486909900
水壓波動調節器(ASML.光刻機專用零件.安裝于
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8486909900
定位件(品牌ASML.光刻機專用零件.固定晶圓的
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8486901000
機械傳送臂(光刻機内搬運矽片的工業機器人
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8538900000
數控裝置用信号分配闆(光刻機數控電氣控制
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8486909900
光罩承載台(ASML.用于承載光罩盒.光刻機專用
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8486909900
光罩承載平台(ASML.光刻機專用.用來承載定位
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8486909900
可變衰減器(ASML.用于光刻機光路系統中.根據
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8486909900
定位件(固定内部部件位置用.光刻機專用.ASML
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.光刻機專用.處理傳輸數字信
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9031900090
信号傳輸闆(用于光刻機中的光罩檢測系統,從
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8537109090
攝像機控制裝置(舊)/NIKON牌/NVCEX-X/用于光刻機
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8414599099
風機(ASML.提供光刻機溫控冷卻風.落地式.1500W)
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.光刻機過載監測信号傳輸用.2
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.光刻機平台驅動信号傳輸用.2
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.光刻機平台曝光信号傳輸用.2
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8486909900
信号傳輸闆(品牌ASML.5500光刻機專用零件.傳輸
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8486909900
矽片承載部件(ASML.5500機型光刻機專用.放置承
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8428909090
升降調節裝置(AAE牌.安裝光刻機系統模塊過程
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3926901000
輪子(ASML.塑料制.用于光刻機矽片平台的移動.
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7318240000
定位銷(ASML.鋼鐵制.用于固定晶圓平台.光刻機
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7318240000
插銷(ASML.光刻機曝光台導軌的定位.不鏽鋼制)
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7320109000
簧片(ASML.鋼鐵制.光刻機機台運動部件.非車用
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8302490000
門把手(ASML.光刻機用.不鏽鋼制造.光刻機的門
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8421999090
過濾網(ASML.光刻機水櫃過濾器用零件.非濾芯.
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8431390000
固定件(ASML.不鏽鋼制.已制成特殊形狀.光刻機
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8486909900
上面闆(ASML.用于遮擋.已制成特定形狀.光刻機
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.光刻機專用.處理傳輸信号用)
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8536700000
光纖連接器(ASML.連接光纖.光刻機通信用.不帶
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9001909090
透鏡(ASML.光刻機重整光束用.石英制.經光學加
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8486909900
固定件(光刻機專用.用于固定内部部件.ASML牌.
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9001909090
透鏡(JENOPTIK牌.光刻機重整光束用.玻璃石英制
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8486909900
信号傳輸闆(NEWAYS牌.用于傳輸光刻機光罩平台
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9031900090
編碼器刻線(VEA牌.光刻機定位系統專用刻尺度
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9002209000
濾色鏡(ZEISS.石英玻璃制.過濾紫外線光刻機
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.光刻機專用零件.傳輸信号用.
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8473309000
信号處理闆(微型機專用闆.處理傳輸光刻機
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8486909900
定位塊(NIKON.光刻機專用.用于内部運動部件定
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8486909900
限位塊(光刻機專用零件.用來限定機台透鏡鏡
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8504401400
直流穩壓電源(品牌KNIEL.光刻機供電用.功率小
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8486909900
噴嘴頭(NIKON.鋼鐵制.光刻機噴射裝置專用零件
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8486909900
調整件(ASML.由迷你馬達.光刻機鏡片專用支架.
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8486909900
光罩吸附件(ASML.光刻機專用.鋼鐵制.已制成特
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8486909900
固定件(ASML.固定零部件.光刻機專用.已制成特
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8501320000
馬達(ASML.直流.用于驅動光刻機快門的開閉.1KW)
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9405409000
信号燈(光刻機指示設備狀态用.LED燈.24V.ASML牌)
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8414100090
真空泵(ASML.通電後産生光刻機溫控裝置内所需
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8431390000
連接件(ASML.用于光刻機鏡頭和提升裝置主體的
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8481202000
氣壓傳動閥(ASML.控制光刻機用于氣路循環系統
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8483900090
凸輪(ASML.配合馬達驅動光刻機矽片平台上下運
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.光刻機傳送臂縱向驅動信号傳
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.用于傳輸光刻機的對位系統運
子目注釋 | 實例 | 詳情
8486909900
信号傳輸闆(ASML.用于傳輸光刻機系統安全模塊
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8517623290
以太網交換機(ASML.用于光刻機各部件之間及其
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8536300000
限流器(ASML.限制電流過大以免光刻機主機損壞
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8537101190
信号控制單元(ASML.接收傳遞光刻機和激光發生
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9025191000
溫度傳感器(ASML.感應光刻機水循環系統中的水
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9026100000
液體流量監測計(ASML.用于監測流入光刻機的冷
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9026100000
水位檢測器(ASML.用于檢測光刻機冷卻系統中水
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9031492000
線性位移傳感器(MAGNESCALE.檢測光刻機内部部件
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8486909900
固定座(NIKON.本身不通電.光刻機專用零件.已制
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8486909900
光刻機腔體組件(NIKON.光刻機專用.鋼鐵制.用于
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8486909900
定位組件(NIKON.光刻機專用.鋼鐵制.用于内部光
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8486909900
定位塊(NIKON.光刻機專用.鋼鐵制.用于内部運動
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9002909090
光刻透鏡(NIKON.經光學加工和裝配.成像.光刻機
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8486909900
信号傳輸闆(光刻機專用.已制成特定形狀.NXT機
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8471414000
機台用微機(光刻機機台用.一體式台式微型機.
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8504401400
直流穩壓電源(ASML.為光刻機提供基礎穩壓電源
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.傳輸光刻機快門開閉的信号用
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3919909090
貼膜(用于光刻機矽片平台上.保護傳感器表面.
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.光刻機專用傳輸光路系統中的
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8486909900
信号傳輸闆(光刻機專用.已制成特定形式.起到
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8486909900
信号傳輸盒(ASML.光刻機矽片平台傳輸處理信号
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8486909900
定位杆(NIKON.光刻機專用.鋼鐵制.已制成特定形
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8486909900
導向杆(NIKON.光刻機專用.鋼鐵制.用于引導機台
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8486909900
保護罩(已制成特殊形狀.光刻機專用零件.用于
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8486909900
蓋闆(光刻機專用零件.用于保護機台内部零件.
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.光刻機平台垂直驅動信号傳輸
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.光刻機平台驅動模拟信号傳輸
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7320109000
彈簧片(光刻機機台運動部件.起緩沖作用.鋼鐵
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8486909900
機械手臂單元(ASML.光刻機自動搬運晶圓的設備
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8486909900
減震支架(NIKON.光刻機專用.鋼鐵制.用于固定内
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3926909090
保護罩(品牌ASML.用于光刻機溫控單元外部保護
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8421399090
氣體過濾器(品牌ASML.用于光刻機氣體循環系統
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8481202000
氣壓傳動閥(品牌ASML.用于光刻機的氣壓傳動系
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8486901000
晶圓傳送裝置(NIKON,光刻機傳送晶圓裝置用零件
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.光刻機平台曝光信号傳輸用.24V
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.光刻機過載監測信号傳輸用.24V
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信号傳輸闆(ASML.光刻機平台驅動信号傳輸用.24V
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8471701000
硬盤驅動器(光刻機内工業計算機用.FUJITSU.73.5G.
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8421999090
過濾網(ASML.過濾水中雜質.光刻機水櫃過濾器用
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8471504090
中央處理器闆(ASML.用于光刻機子系統.數據的計
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8481202000
氣體傳動閥(ASML.用于光刻機氣路循環系統.通過
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8504401400
直流電源(ASML.為光刻機提供基礎電源.直流穩壓
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8537101990
電路闆(ASML.将模拟信号轉換成數字信号.光刻機
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4016931000
密封墊圈(ASML牌.用于光刻機中起密封作用.硫化
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9027300000
激光測量模塊(GIGAPHOTON.用于光刻機.測量内部激
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8421999010
濾芯(NIKON.光刻機氣體循環管道過濾裝置上的過
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8538900000
數控裝置用信号分配闆(NIKON.專用于光刻機數控
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8538900000
數控裝置用信号分配電路闆(NIKON.專用于光刻機
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9032899090
水平控制組件(NIKON.通過檢測光刻機曝光品台水
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9032899090
光刻機流程控制器(NIKON.光刻機用自動控制裝置
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8431390000
提升機構連接件(ASML.不鏽鋼制.用于光刻機鏡頭
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8538900000
數控裝置用信号分配電路闆(專用于光刻機數控
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8538900000
數控裝置用信号分配闆(專用于光刻機數控電氣
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8504401400
直流電源(ASML.為光刻機提供基礎穩壓電源.直流
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8486909900
信号傳輸闆(品牌ASML.光刻機專用零件.傳輸信号
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.傳輸光刻機運行信号用.光刻機
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.傳輸調節器的數字信号.光刻機
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8486909900
晶圓轉動台(ASML.用于光刻機晶圓平台.使晶圓能
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8486909900
供水部件(已制成特殊形狀.供水用.光刻機專用.
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8486909900
信号接收處理模塊(ASML.接受處理信号用.光刻機
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.光刻機專用.用于激光信号的傳
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8486909900
定位件(品牌ASML.光刻機專用零件.固定晶圓的位
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8486901000
機械傳送臂(光刻機内搬運矽片的工業機器人專
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8486901000
機械傳送臂(NIKON.已制成特定形狀.專用于光刻機
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8538900000
操作面闆(光刻機電氣控制裝置專用零件.NIKON.用
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8486909900
連接模塊(NXT光刻機用.用于光刻機矽片平台連接
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3919909090
防水貼膜(光刻機矽片平台專用.專用于光刻機
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8486909900
信号傳輸闆(用于光刻機的曝光平台.傳輸光刻機
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8486909900
信号傳輸闆(光刻機專用.傳輸光刻機機械手運動
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.傳輸激光光信号用.光刻機專用)
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9031900090
信号處理傳輸闆(用于光刻機中的光罩檢測系統.
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8473309000
信号處理闆(微型機專用闆.處理傳輸光刻機驅動
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9031809090
間隙測量裝置(光刻機專用.通過電磁感應原理測
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8486909900
限位塊(光刻機專用零件.用來限定機台透鏡鏡片
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8486909900
冷卻片(ASML.賤金屬制.光刻機專用零件.已制成特
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8538900000
信号傳輸闆(光刻機中的電力控制裝置用.通過内
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8486909900
光刻機快門更換套件(将光刻機快門系統從B系列
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9013200099
激光發生器(光刻機提供激光光源用.通過激光二
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9032899090
自動調節控制器(光刻機矽片平台用.檢測矽片平
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8413604090
水泵(将光刻機零件部件内部多餘液體排出.品牌
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8486909900
信号傳輸闆(光刻機專用.處理傳輸光罩平台移動
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.光刻機專用.處理傳輸模拟信号)
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8501109190
微電機(NIKON,驅動用,功率<=37.5瓦,20MM至39MM,光刻機
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8486909900
光刻機腔體組件(NIKON.光刻機專用.鋼鐵制.用于安
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9031499090
線性位移傳感器(SONY.檢測光刻機内部部件的位移
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8486909900
光罩(ASML.光刻機專用.曝光時使用.印有特定線路)
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8486909900
定位塊(NIKON.光刻機專用.鋼鐵制.用于内部運動部
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8486909900
導向杆(NIKON.光刻機專用.鋼鐵制.用于内部運動部
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8481202000
電子調節閥(光刻機氣壓傳動系統.控制空氣壓力.
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8486909900
導向闆(光刻機專用.制成特定形狀.用于光罩平台
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8414809090
空氣泵(ASML,電動式,通過電機驅動向光刻機照明系
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8301400000
電動鎖(ASML,鋼鐵制,用于控制光刻機右腔門的開關
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9032899090
水循環控制器(ASML,光刻機水循環系統用,根據傳感
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8543709200
信号放大器(NIKON,用于放大光刻機内晶圓承載台控
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8538900000
數控裝置用信号分配闆(光刻機數控電氣控制裝置
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8538900000
數控裝置用信号分配闆(專用于光刻機數控電氣控
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8538900000
數控裝置用信号分配闆(專用于光刻機數控電氣制
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8471701000
硬盤驅動器(光刻機内工業計算機用.IBM.20GB.5400轉)
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8421999090
過濾網(ASML.過濾水中雜質.光刻機水櫃過濾器用零
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.用于光刻機浸潤平台數字信号.光
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8504409999
變頻器(ASML.光刻機矽片平台用.調整輸出電源的電
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8536490000
繼電器(ASML.用于光刻機自動控制電路中.自動調節
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8538900000
數控裝置用信号分配闆(NIKON.專用于光刻機數控電
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8471701000
硬盤驅動器(NEC.20GB容量.5400轉/秒.緩存16M.光刻機
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8536901100
接插件(ASML.光刻機電氣連接用接插頭.電壓小于36V)
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9032900090
控制器基闆(NIKON.光刻機自動對焦裝置用零件.通過
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8486901000
機械傳送臂(光刻機内搬運矽片的工業機器人專用)
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8486909900
光罩承載平台(ASML.光刻機專用.用來承載定位光罩)
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8471701000
硬盤驅動器(光刻機内工業計算機用.MAXTOR.20G.5400轉)
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3707909000
顯影液/光刻機曝光後顯影成形用/500ml/瓶/無銀/Nalco
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8536700000
光纖連接器(ASML.連接光纖.光刻機通信用.不帶光纜)
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7326901900
旋鈕(NIKON.鋼鐵制.專用于光刻機機台控制面闆上的)
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8486909900
導向杆(NIKON.光刻機專用.鋼鐵制.用于内部運動部件
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8538900000
數控裝置用信号分配闆(光刻機數控電氣控制裝置上
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8538900000
數控裝置用信号分配闆(專用于光刻機數控電氣控制
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8538900000
數控裝置用信号分配闆(NIKON,專用于光刻機數控電氣
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9027300000
激光測量模塊/光刻機/測内部激光波長波寬/7A22474000
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8481202000
氣壓傳動閥(ASML.用于光刻機氣浮系統中.氣壓傳動功
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8481202000
氣壓傳動閥(ASML.用于光刻機氣壓系統中.通過對系統
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8538900000
數控裝置用信号分配闆(NIKON.專用于光刻機數控電氣
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.用于光刻機光罩平台氣浮系統.傳輸
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8486909900
晶圓轉動台(ASML.用于光刻機晶圓平台.使晶圓能夠轉
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8486909900
擋闆(光刻機專用.NIKON.塑料制.用于内部部件的隔離)
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8538900000
數控裝置用信号分配闆(光刻機數控電氣制裝置上用
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.光刻機平台垂直驅動信号傳輸用.24V.
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8486909900
信号傳輸闆(ASML.傳輸光刻機運行信号用.光刻機專用)
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8486901000
機械手臂(NIKON.光刻機内搬運矽片的專用零件.已制成
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9032899090
光刻機流程控制器(NIKON.光刻機用自動控制裝置.用于
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8486909900
定位塊(NIKON,光刻機專用,塑料制,用于内部運動部件定
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9031499090
線性位移傳感器(SONY,檢測光刻機内部部件的位移量及
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8486909900
定位件(NIKON,鋼鐵制,用于内部光學部件的定位,光刻機
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8486909900
導向杆(NIKON,光刻機專用,鋼鐵制,用于内部運動部件定
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8486909900
導向杆(NIKON,光刻機專用,鋼鐵制,用于引導機台内部件
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8486909900
減震支架(NIKON,光刻機專用,鋼鐵制,用于固定内部部件
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8504403090
逆變器(ASML.把直流電變成交流電.以便光刻機使用.12KW
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8504401400
直流穩壓電源(ASML.光刻機操作平台供電用.200W.精度低
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8486909900
連接部件(ASML.5500機型光刻機專用.安裝在矽片平台.通
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8471709000
數據磁帶機(光刻機内工業計算機數據存儲用.8MM.NIKON)
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9001909090
透鏡(JENOPTIK牌.光刻機重整光束用.玻璃石英制.經光學
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8486909900
定位組件(NIKON.光刻機專用.鋼鐵制.用于内部光學部件
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8486909900
定位塊(NIKON.光刻機專用.鋼鐵制.用于内部運動部件定
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9031900090
編碼器刻線(VEA牌.光刻機定位系統專用刻尺度.上面有
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8486909900
矽片承載台(ASML.專用于5500光刻機.鋼鐵制.用于放置矽
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8486909900
導向杆(NIKON.光刻機專用.鋼鐵制.用于内部運動部件定
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8486909900
光刻機腔體組件(NIKON.光刻機專用.鋼鐵制.用于安裝部
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8486909900
減震支架(NIKON.光刻機專用.鋼鐵制.用于固定内部部件
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8486909900
固定件(ASML.光刻機專用.賤金屬制.制成特定形狀.用于
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8486909900
支架(ASML.固定過濾網用.光刻機專用.已制成特定形狀)
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8414809090
空氣泵(ASML,電動式,通過電機驅動向光刻機照明系統輸
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8486909900
光罩接收器(ASML,光刻機專用,通過接收感應光罩的移動
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9032899090
水循環控制器(ASML,光刻機水循環系統用,根據傳感器信
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8486909900
連接件(ASML,用于光刻機超純水過濾系統中的連接,不鏽
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支架(ASML,用于支撐和固定光刻機鏡頭的冷卻系統,鋼鐵
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8538900000
信号轉換闆(ASML,光刻機電氣控制櫃專用零件,接收光信
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8538900000
信号轉換闆(ASML,光刻機電氣控制櫃專用零件,信号轉換
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9031499090
加速計傳感器(NIKON,用于檢測光刻機内運動部件的加速
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8543709200
信号放大器(NIKON,用于放大光刻機内晶圓承載台控制電
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